Ottozeus Beratungsforum

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"Verklebung von Siliziumkanälen"

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Kunde

Liebes Otto-Zeus-Team,

bei unserer Anwendung ist die ein Glasdeckel fest mit einem Siliziumwafer verbunden, in welchem sich ein Kanal befindet. An den Stellen, an der die Glasscheibe endet, ist die dichte Verklebung des Kanals von Nöten.

Anforderungen:

- gute Haftung auf Silicium oder Haftschichten (Titan, Aluminium, ...)

- unlöslich

- falls möglich temperaturstabil bis 350°C

- langzeitstabil

Bisherige Versuche zeigten, dass Cyanacrylate zwar gut haften, sich aber durch Wasser nach kurzer Zeit ablösen lassen (nicht auflösen, das Wasser kriecht offenbar darunter).
Hochtemperaturkleber und Epoxidharzkleber zeigten zum großen Teil gute Beständigkeiten, die Haftung zum Silicium war aber so gering, dass diese sich bis auf Reste in einem Teil komplett ablösten.
Beste Ergebnisse erhalten wir nach wie vor mit einem viskosen Fotolack. Dieser löst sich nach etwa einem Monat ab (Wasser kriecht darunter).

Posted : 22.03.2011

Kunde

Hallo,

leider können wir Ihnen hier keine Vorschläge unterbreiten, denn die Produkte die uns zur Verfügung stehen scheitern ebenfalls an den Ihnen bekannten Problemen. Evtl. kann Ihnen der Klebstoffhersteller für Spezialitäten, Fa. Delo weiter helfen.

Ihr Ottozeus-Team

Posted : 22.03.2011

Kunde

Vielen Dank für die rasche Antwort und den Tipp.

Mit freundlichen Grüßen

Posted : 22.03.2011


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"Verklebung von Siliziumkanälen"

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